大面積ISO 6級(jí)頂送頂回非單向流潔凈室工程案例

一、工程概述

深圳賽意法集成電路有限公司封裝工序潔凈廠房是我國(guó)個(gè)大面積1000級(jí)4300m²的頂送頂回的氣流流型潔凈廠房的成功實(shí)例。

同時(shí)它還是：國(guó)內(nèi)個(gè)別學(xué)術(shù)所說(shuō)的頂送頂回氣流流型是不會(huì)做凈化空調(diào)的人設(shè)計(jì)的工程實(shí)例。

第十一設(shè)計(jì)院設(shè)計(jì)大師王唯國(guó) 推薦十一院凈化空調(diào)設(shè)計(jì)人員，要認(rèn)真學(xué)習(xí)賽意法設(shè)計(jì)的精髓和大手筆創(chuàng)造工程實(shí)例。

賽意法外方總裁稱深圳賽意法的封裝廠方是他們跨國(guó)公司秀的后工序封裝廠房。

也是在連續(xù)運(yùn)行二年后動(dòng)態(tài)測(cè)試潔凈度<400個(gè)/ft³，產(chǎn)品成品率高達(dá)99%的后工序凈化廠房。

賽意法公司的第二期工程（十院設(shè)計(jì)）和第三期（十一院設(shè)計(jì)）套用了期工程的頂送頂回的氣流流型。

在2005年西安交大黃淑娟教授帶領(lǐng)多名博士生運(yùn)行（美國(guó)引進(jìn)）的CFD數(shù)字模擬方法,從理論上證明了頂送頂回的氣流流型是正確的和可行的。該實(shí)驗(yàn)結(jié)果的論文，在2007年國(guó)際污染控制年會(huì)的交流大會(huì)上發(fā)表。

后來(lái)在我國(guó)“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”的修改中肯定了頂送頂回是一種非單向流的氣流流型。

1.工藝要求的各種參數(shù)：

二、問(wèn)題的起因

在與外方的設(shè)計(jì)聯(lián)絡(luò)會(huì)上，外方總裁要求該潔凈廠房在凈化空調(diào)系統(tǒng)的布置時(shí)一定要方便工藝設(shè)備的擺放，下部不能有回風(fēng)口。因廠房寬度為48M，中間只有一排柱子，利用柱子回風(fēng)很難解決氣流的均勻問(wèn)題，外方提出：他們意法跨國(guó)公司的后工序（封裝）潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)都是采用頂送頂回的氣流流型，深圳的封裝廠房也不例外一定要做成頂送頂回。

作為一個(gè)中國(guó)的設(shè)計(jì)人員不能給中國(guó)人丟臉，不能說(shuō)不會(huì)做。只能說(shuō)我們也可以做。但是壓力確實(shí)很大，頂送頂回的氣流流型過(guò)去我們沒(méi)有做過(guò)，1000級(jí)潔凈度潔凈倉(cāng)房的頂送頂回的氣流流型就更沒(méi)有做過(guò)。4300m²大面積更是破天荒的。為此我們查閱了大量的美國(guó)、日本和韓國(guó)的有關(guān)資料和文獻(xiàn).設(shè)計(jì)時(shí)我采取了如下多條措施來(lái)保證潔凈廠房的潔凈度和溫濕度，并且做到方便施工﹑調(diào)試和運(yùn)行，努力做到一次成功。

三、設(shè)計(jì)中采取的措施

換氣次數(shù)為 50次/h。頂送風(fēng)口兩排為一組然后插入一排回風(fēng)口。為了方便施工安裝和調(diào)試設(shè)計(jì)時(shí)，采用大型穩(wěn)壓靜壓箱，其尺寸為 3.0 m×3.5 m×30 m。

結(jié)果調(diào)試時(shí)風(fēng)口閥門很少調(diào)節(jié)，遠(yuǎn)近各風(fēng)口出風(fēng)速度相當(dāng)均勻。

1．為了防止氣流短路：

送風(fēng)口孔板出流風(fēng)速設(shè)計(jì)為5m/s，回風(fēng)口出流風(fēng)速設(shè)計(jì)為2.5m/s。

送風(fēng)口孔板開(kāi)孔率15%，回風(fēng)口孔板開(kāi)孔率30%。

送風(fēng)口和回風(fēng)口擴(kuò)散板之間相對(duì)的斜面上不開(kāi)孔。

最后的測(cè)試結(jié)果：

從設(shè)計(jì)到施工用一年的時(shí)間（包括土建工程的總建筑面積20000m²）到1996年竣工驗(yàn)收測(cè)試是由施工單位，設(shè)計(jì)單位（即總承包單位）和建設(shè)單位三家聯(lián)合進(jìn)行，采用三臺(tái)大流量計(jì)數(shù)器對(duì)空態(tài)的潔凈車間進(jìn)行潔凈度的測(cè)試，其潔凈度為24.7個(gè)/ft³比1000級(jí)提高40倍。測(cè)試的房間溫度為23±0.3℃，相對(duì)濕度為50±3%，所有的參數(shù)都優(yōu)于設(shè)計(jì)的要求。

在連續(xù)運(yùn)行兩年后的1998年，我們進(jìn)行了設(shè)計(jì)回訪并索取了甲方平時(shí)檢測(cè)記錄，紀(jì)錄的數(shù)據(jù)表明，車間動(dòng)態(tài)潔凈度為159~365個(gè)/ft³，車間溫度為22.5±0.5℃，車間相對(duì)濕度為50±3%，生產(chǎn)的產(chǎn)品成品高達(dá)99%。賽意法外方總裁說(shuō)深圳的封裝潔凈廠是以意法（意大利和法國(guó)）跨國(guó)公司里秀的后工序廠房。

但是請(qǐng)大家注意，潔凈廠房的氣流流型還是頂送下回，頂送側(cè)下回為好。除非工藝不允許下回或下側(cè)回時(shí)，才考慮其他類型的氣流流行。

深圳清溢精密光電有限公司的一級(jí)潔凈廠房

一、工程概況

1、工藝的環(huán)境要求

生產(chǎn)用的TFT基板的原材料為8 mm厚的玻璃板（2 m×1.5 m），進(jìn)口一塊玻璃板原材料價(jià)100萬(wàn)RMB，工藝加工完成后刻印上圖形賣到TFT工廠的價(jià)格為500萬(wàn)元。一期工程面積為800 m²。

環(huán)境要求：潔凈度有200m²為.1級(jí)（≥0.5 μm），600 m²為10級(jí)（≥0.5 μm）其溫度要求為22±0.3℃，相對(duì)溫度為50±5%。（其中一臺(tái)工藝設(shè)備價(jià)錢就要1-2億人民幣。）

2、施工現(xiàn)場(chǎng)狀況

（1）土建工程有一個(gè)民用建筑施工單位施工。下夾層地梁表面坑坑洼洼凹凸不平地梁表面高度不平.給架設(shè)活動(dòng)地板造成很多困難。

（2）施工現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境極為惡劣，土建施工與凈化施工同時(shí)進(jìn)行外面灰塵很大。

（3）施工進(jìn)度要求很短三個(gè)月要在2007年7月1日香港回歸紀(jì)念日進(jìn)行竣工驗(yàn)收典禮。

二、設(shè)計(jì)和施工中的措施

1、設(shè)計(jì)方采用MAU+FFU+DC的方案:三層結(jié)構(gòu)，上夾層是送風(fēng)技術(shù)夾層里面布置新風(fēng)管和FFU。新風(fēng)和回風(fēng)在這里混合，中間層是潔凈生產(chǎn)車間，下夾層是回風(fēng)技術(shù)夾層，干冷盤(pán)管布置在下夾層。另外一些管道電纜等管線也布置在下夾層。

2、凈化空調(diào)設(shè)備的選用

（1）新風(fēng)機(jī)組任務(wù)和選擇：

a．新風(fēng)機(jī)組要保證工藝生產(chǎn)房間的相對(duì)濕度因此新風(fēng)機(jī)組有加濕和去濕功能；同時(shí)也有加熱和降溫功能，還有高精度的自動(dòng)控制。新風(fēng)機(jī)組還要保證房間的正壓，因此每個(gè)工藝房間有獨(dú)立的新風(fēng)管，每個(gè)新風(fēng)管上設(shè)有電動(dòng)調(diào)節(jié)閥和精密的自動(dòng)控制。

（1）新風(fēng)機(jī)組任務(wù)和選擇

a.新風(fēng)機(jī)組要保證工藝生產(chǎn)房間的相對(duì)濕度因此新風(fēng)機(jī)組有加濕和去濕功能；同時(shí)也有加熱和降溫功能，還有高精度的自動(dòng)控制。新風(fēng)機(jī)組還要保證房間的正壓，因此每個(gè)工藝房間有獨(dú)立的新風(fēng)管，每個(gè)新風(fēng)管上設(shè)有電動(dòng)調(diào)節(jié)閥和精密的自動(dòng)控制。

b．采用5級(jí)過(guò)濾保證進(jìn)入工藝生產(chǎn)房間新風(fēng)的品質(zhì)并且保護(hù)FFU中的超高效過(guò)濾器（即共有六級(jí)過(guò)濾，其中有粗效.中效.化學(xué)過(guò)濾.中效.高效和超高效過(guò)濾器， 共6級(jí)）。

c．新風(fēng)機(jī)組的風(fēng)機(jī)為雙風(fēng)機(jī)一用一備，保證運(yùn)行的安全可靠。新風(fēng)機(jī)組的功能段有兩級(jí)表冷，一級(jí)加熱.一級(jí)加濕兩臺(tái)風(fēng)機(jī)和五級(jí)過(guò)濾共16個(gè)功能段。冷凍水溫度1為5-10℃熱水溫度為50-60℃。加濕用電熱式蒸汽加濕器并采用純水做水源。

設(shè)計(jì)選用時(shí)與新晃、開(kāi)利、約克等生產(chǎn)廠家的技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)座談..最后選用了新晃生產(chǎn)的產(chǎn)品，實(shí)際運(yùn)行效果很好。

（2）FFU的參數(shù)和選擇

一級(jí)潔凈室的FFU采用U17超高效過(guò)濾器其效率為99.999995%（≥0.12μm）。

十級(jí)潔凈室的FFU采用U16超高效過(guò)濾器其效率為99.999995%（≥0.12μm）。FFU是保證房間潔凈度的最后關(guān)口因此非常重要。

a．FFU單體噪聲要求，噪聲≤50dB(A)；

b．FFU的機(jī)外余壓>120Pa；

c．FFU的出口斷面 風(fēng)速的均勻度為±20%（15%）；

d．FFU的電機(jī)壽命>50000小時(shí)；

我們建議采用美國(guó)飛達(dá)仕生產(chǎn)或瑞典康斐爾生產(chǎn)的FFU。但是甲方堅(jiān)持購(gòu)買XXX生產(chǎn)的產(chǎn)品結(jié)果在施工和調(diào)試中因FFU 的泄漏更換多達(dá)3-4%不僅影響施工和調(diào)試的進(jìn)度而且最終調(diào)試噪聲高達(dá) 70dB(A)超標(biāo)。但因?yàn)槭菢I(yè)主定的產(chǎn)品故甲方?jīng)]有提出疑意。

（3）干盤(pán)管的運(yùn)用和控制

干盤(pán)管采用兩排，翅片間距≥3mm。面風(fēng)速為２m/s時(shí)阻力大約為30Pa，

通入干盤(pán)管的中溫水參數(shù)為14℃~19℃，通過(guò)干盤(pán)管的面風(fēng)速≤２m/s，此時(shí)干盤(pán)管的面積很大。有時(shí)下夾層布置不下還要斜放。中溫水用冷凍水混合制取。

干盤(pán)管的下面作了凝結(jié)水的滴水盤(pán)和冷凝水的排水系統(tǒng)

有的車間只能單側(cè)布置干盤(pán)管，.或因設(shè)備基礎(chǔ)（實(shí)體）占房間面積很大，會(huì)造成單向流氣流出現(xiàn)一定的偏斜.因此這樣高級(jí)別和高溫濕度精度的潔凈廠房的回風(fēng)和和干盤(pán)管布置盡量均勻，設(shè)備基礎(chǔ)面積不要超過(guò)房間面積的1/2。

干盤(pán)管是保證工藝車間的溫度精度的關(guān)鍵設(shè)備，控制采用各干盤(pán)管由分區(qū)的溫度敏感元件單獨(dú)控制。但在室內(nèi)發(fā)熱量很少的時(shí)候，中溫水閥門開(kāi)啟得很小控制水量較困難，為達(dá)到控制目的，還特意將新風(fēng)送風(fēng)溫度提高.加大中溫水的水量來(lái)保證房間溫度精度。

（4）自動(dòng)控制元件選用國(guó)際上控制精度,貴的瑞典為沙拉公司的產(chǎn)品與專業(yè)的自控公司共同施工調(diào)試

（5）金屬壁板和活動(dòng)地板

經(jīng)過(guò)調(diào)查和比較設(shè)計(jì)時(shí)選擇了中國(guó)臺(tái)灣惠亞公司提供的金屬樣板和活動(dòng)地板。

外墻內(nèi)襯的彩鋼板和疏散走廊的隔墻采用耐火一小時(shí)的玻鎂彩鋼板。而內(nèi)間隔墻采用鋁蜂窩彩鋼板（防火一小時(shí)），有時(shí)因外因碰撞洼痕影響美觀但重量很輕。

因風(fēng)量很大活動(dòng)地板的開(kāi)孔率為50-60%，且設(shè)備基礎(chǔ)大。回風(fēng)面積受到一定影響。

另外還有活動(dòng)地板的平整度的問(wèn)題，由于土建施工先天不足，地梁本身平整度很差，為了找平還要土建梁上作一層工字鋼的鋼梁,而且為了平整在工字鋼和土建梁之間要墊高低不同的墊片，再用激光儀器操平。增加施工難度和進(jìn)度。

地板的承重問(wèn)題，根據(jù)甲方提供地板承重要求≤800 kg/m²，但施工后設(shè)備放上去（有的設(shè)備是用幾條腿支撐）出現(xiàn)地板局部凹陷問(wèn)題，最后采用不銹鋼條形板將設(shè)備的支腿墊起來(lái)才消除了局部凹陷。

另外，還有一個(gè)底面積只有6m2，其重量卻有13噸的設(shè)備還未到貨，重量折合2200kg/m2。在設(shè)備的運(yùn)輸通道上要墊設(shè)多厚，多大面積的不銹鋼板才能將設(shè)備運(yùn)進(jìn)來(lái)，又不破壞地板。又是一個(gè)大問(wèn)題。

調(diào)試中遇到的問(wèn)題：

1、電熱式蒸汽加濕器的顯熱對(duì)室內(nèi)溫度的影響問(wèn)題，一般設(shè)計(jì)時(shí)設(shè)計(jì)人員都將蒸汽加濕作為等溫加濕處理，即不考慮蒸發(fā)溫度既顯熱的影響，但是在高溫度精度的潔凈廠房設(shè)計(jì)時(shí)還是要考慮蒸汽部分顯熱的影響。否則在冬季蒸汽加濕投入時(shí)室內(nèi)的溫度曲線就會(huì)突然波動(dòng)，后加濕停止也會(huì)產(chǎn)生波動(dòng)，使室內(nèi)溫度波動(dòng)較大，影響溫度的精度。

2、室內(nèi)出現(xiàn)大粒子問(wèn)題

由于凈化施工的周圍環(huán)境十分惡劣。

a．施工前在地下室空間建立了一個(gè)100級(jí)的設(shè)備材料庫(kù)房，其面積大約100m²把潔凈室用的設(shè)備，配件和材料等存在100級(jí)的凈化環(huán)境中保證進(jìn)入潔凈室的設(shè)備和材料的潔凈度。

b．工人員要嚴(yán)格規(guī)范施工。質(zhì)檢人員和監(jiān)理要經(jīng)常監(jiān)督檢查。

c．試時(shí)維持室內(nèi)較大正壓，調(diào)試人員要按規(guī)定更兩次衣，兩次吹淋方能進(jìn)入。

d．由于進(jìn)度要求沒(méi)有空態(tài)測(cè)試驗(yàn)收的時(shí)間（合同是空態(tài)驗(yàn)收），工藝設(shè)備就要進(jìn)入潔凈室進(jìn)行二次配管配線和調(diào)試（進(jìn)口設(shè)備），工藝設(shè)備的調(diào)試和二次配管配線又一次影響了潔凈室內(nèi)的潔凈度，尤其是甲方堅(jiān)持要提前安裝并滿布FFU；當(dāng)時(shí)施工單位和我們主張，等最后清掃空吹后再裝FFU。因?yàn)樾嘛L(fēng)送進(jìn)時(shí)已經(jīng)達(dá)到100級(jí)的潔凈度，能滿足工藝設(shè)備調(diào)試的環(huán)境要求。但最終還是將FFU過(guò)早的裝上了。這樣就出現(xiàn)潔凈廠房動(dòng)態(tài)調(diào)試時(shí)0.1μm粒子合格.0.5μm粒子為0個(gè)/ft³，而1μm和5μm的大粒子隨機(jī)地不斷出現(xiàn)。為此調(diào)試時(shí)間延長(zhǎng)了一個(gè)多月來(lái)找大粒子產(chǎn)生的原因。

因過(guò)早地安裝FFU，為了省電，工藝設(shè)備調(diào)試時(shí)FFU部分開(kāi)啟，因上技術(shù)夾層為負(fù)壓，就造成室內(nèi)的空氣通過(guò)不開(kāi)啟的FFU倒流到上夾層,部分灰塵 就沉積在超高過(guò)濾器的表面；調(diào)試時(shí)這樣大 粒子會(huì)隨機(jī)落下。

潔凈廠房?jī)?nèi)的通訊喇叭的紙盆不是潔凈廠房專用，一振動(dòng)也產(chǎn)生大量大粒子。

工藝設(shè)備的配套件不是潔凈廠房專用的設(shè)備。有些還帶風(fēng)機(jī)也會(huì)產(chǎn)生大量的大粒子。找到原因后采取必要的措施最后測(cè)試合格達(dá)標(biāo)。

結(jié)果：最后我們和甲方聯(lián)合請(qǐng)具有NEBB資格的新加坡（港思）快思特公司第三方進(jìn)行測(cè)試結(jié)果…。

一級(jí)潔凈室（0.5 μm）動(dòng)態(tài)測(cè)試達(dá)到1級(jí)潔凈室（0.3 μm）。

十級(jí)潔凈室（0.5 μm）動(dòng)態(tài)測(cè)試達(dá)到1級(jí)潔凈室（0.5 μm）。

溫度達(dá)到23℃±0.1℃。

相對(duì)溫度達(dá)到50±3%。

北京航天光學(xué)遙感特殊交大實(shí)驗(yàn)室矢流潔凈室設(shè)計(jì)案例

實(shí)驗(yàn)室的工藝要求和設(shè)計(jì)難點(diǎn)

一、工程概況：光學(xué)遙感實(shí)驗(yàn)室總面積約32000m²，凈化級(jí)別有10000級(jí)和100000級(jí)有可變溫度和相對(duì)溫度的要求，有氣流速度的要求，還有防微振的要求，更重要的還有個(gè)實(shí)驗(yàn)室之間使用靈活性的要求。

二、實(shí)驗(yàn)室屬高大房間有吊車。吊車鉤的高度有10 m、8 m和5 m，既房間高度有14 m、12 m和8 m吊車分別為4T、2T。實(shí)驗(yàn)時(shí)的室內(nèi)溫度要求是可變的（18-25±1℃），有時(shí)為8℃、有時(shí)為15℃、有時(shí)為25℃，相對(duì)濕度要求在35-55%范圍內(nèi)。第三工作面的風(fēng)速不能超過(guò) 0.1 m/s潔凈度有10000級(jí)和100000級(jí)的要求。屬高大房間的恒溫恒濕凈化和防微振的實(shí)驗(yàn)室。

三、設(shè)計(jì)中的難點(diǎn)和解決的辦法

1、有吊車的高大房間凈化空調(diào)氣流流型是一大難題

房間高14 m寬24 m有吊車，如果采用頂送風(fēng)、下回風(fēng)的氣流流型，氣流難以達(dá)到工作區(qū)。工作區(qū)的溫濕度和潔凈度難以保證。而且體積大、送風(fēng)量大、浪費(fèi)能源。

經(jīng)過(guò)慎重研究和有關(guān)專家的討論，又經(jīng)全院專家評(píng)審，該實(shí)驗(yàn)室的凈化空調(diào)氣流流型采用矢流。矢流氣流有流線之間不交叉的特點(diǎn)，用較少的送風(fēng)量可達(dá)到較高潔凈度的效果，而且工作區(qū)都在射流范圍內(nèi)，其區(qū)域溫濕度和潔凈度容易保證。

但是對(duì)于單側(cè)回風(fēng)的距離長(zhǎng)達(dá)12 m，如何保證送風(fēng)氣流能覆蓋工作區(qū)。矢流送風(fēng)口的出口風(fēng)速為多少？射流長(zhǎng)度為多少？孔板開(kāi)孔率和孔徑大小為多少？要經(jīng)過(guò)理論上的進(jìn)一步計(jì)算。

2、實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)溫度要求是可變的。即8-25℃之間可選任何溫度為基準(zhǔn)溫度，而相對(duì)濕度應(yīng)在35-55%范圍內(nèi)，如何設(shè)計(jì)這樣的空氣處理系統(tǒng)是第二大難題。

研究所動(dòng)力站固定供應(yīng)7-12℃的冷凍水為冷源，50-60℃熱水為熱源。

在夏季當(dāng)室內(nèi)相對(duì)濕度控制在50±5%的時(shí)候，試驗(yàn)溫度要求8℃時(shí)，室內(nèi)空氣露點(diǎn)約為－4℃，試驗(yàn)溫度為15℃時(shí)，室內(nèi)空氣露點(diǎn)溫度為5℃；試驗(yàn)溫度為25℃時(shí)室內(nèi)空氣露點(diǎn)溫度為14℃。

為了滿足不同實(shí)驗(yàn)的溫濕度的要求，又能節(jié)省能源。一個(gè)空調(diào)系統(tǒng)的冷卻和去濕要采用三種不同的方法。當(dāng)實(shí)驗(yàn)溫度在20-25℃時(shí)，可利用集中冷凍站提供的7-12℃冷凍水降溫去濕。當(dāng)實(shí)驗(yàn)溫度在13-20℃時(shí)，可用直接蒸發(fā)冷凍機(jī)直接供冷的方法降溫去濕（蒸發(fā)溫度約為35℃）。當(dāng)實(shí)驗(yàn)溫度在5-12℃時(shí)，就要采用轉(zhuǎn)輪化學(xué)去濕，加7-12℃冷凍水的聯(lián)合處理方法，才能達(dá)到降溫去濕的目的。

3、實(shí)驗(yàn)室共有80-90間，而且為了節(jié)能，甲方希望實(shí)驗(yàn)室工作時(shí)凈化空調(diào)系統(tǒng)開(kāi)啟，不工作時(shí)停機(jī)。另外每個(gè)實(shí)驗(yàn)室在實(shí)驗(yàn)時(shí)對(duì)潔凈度、溫濕度的要求不盡相同，希望每個(gè)實(shí)驗(yàn)室的空調(diào)系統(tǒng)能單獨(dú)控制，這樣一來(lái)就需要有近百臺(tái)新風(fēng)機(jī)組加循環(huán)機(jī)組，而且要分別自動(dòng)控制。不僅投資太大，浪費(fèi)能源，空調(diào)機(jī)房面積也難以解決。

為此設(shè)計(jì)人員與甲方實(shí)驗(yàn)室技術(shù)人員進(jìn)行詳細(xì)研究和討論，即能滿足實(shí)驗(yàn)室靈活使用的特點(diǎn)，又不至于空調(diào)設(shè)備的數(shù)量太多，節(jié)省投資。最后雙方研究確定將使用規(guī)律相近，溫濕度潔凈度要求相同，又是相鄰的三至四間實(shí)驗(yàn)室合為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)，即使這樣新風(fēng)機(jī)組加循環(huán)機(jī)組空調(diào)機(jī)的數(shù)量還多達(dá)40多臺(tái)。

4、實(shí)驗(yàn)室試驗(yàn)設(shè)備的防微振

實(shí)驗(yàn)室內(nèi)實(shí)驗(yàn)設(shè)備有的防微振要求：一級(jí)防微振在2～100Hz范圍內(nèi)，振動(dòng)速度小于0.01mm/s；二級(jí)防微振在2～100Hz范圍內(nèi)，振動(dòng)速度小于0.03mm/s；三級(jí)防微振在2～100Hz范圍內(nèi)，振動(dòng)速度小于0.05mm/s。

防微振設(shè)計(jì)實(shí)施和測(cè)試是我院的強(qiáng)項(xiàng)，又一批的工程技術(shù)人員和有豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)、這是其他單位所不及的。

5、空調(diào)機(jī)房的位置和對(duì)實(shí)驗(yàn)設(shè)備的防振影響

原某單位作的可行性報(bào)告中，未考慮空調(diào)設(shè)備的機(jī)房位置，而且建筑面積也不能超出原有建筑面積。設(shè)計(jì)中有40多臺(tái)空調(diào)器，大約要2000m²的機(jī)房面積。與甲方協(xié)商,機(jī)房位置有兩條出路。

，機(jī)房設(shè)在實(shí)驗(yàn)室吊頂以上的空間，空調(diào)器吊裝在物面結(jié)構(gòu)上。但此方案存在有維護(hù)管理不方便，凝結(jié)水排放，以及振動(dòng)和噪聲對(duì)實(shí)驗(yàn)室的影響等問(wèn)題，其中振動(dòng)影響更為突出。

第二，壓縮實(shí)驗(yàn)室的面積將空調(diào)機(jī)房設(shè)在實(shí)驗(yàn)室的兩側(cè)，這也存著壓縮面積的可能性，但是維護(hù)管理方便，凝結(jié)水排放容易解決，噪聲影響也容易處理，但振動(dòng)影響還是存在。

最后經(jīng)過(guò)與甲方共同商議，又經(jīng)防微振專家對(duì)兩處振動(dòng)的影響進(jìn)行計(jì)算和評(píng)估采取。最終將空調(diào)機(jī)房設(shè)在實(shí)驗(yàn)室兩側(cè)的二層房間內(nèi)。