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一個(gè)制件表面的微觀幾何形貌特性在很大程度上影響著他的許多技術(shù)性能,而近年來(lái)科技的發(fā)展對(duì)各種納米器件表面精度提出越來(lái)越高要求。
在材料科學(xué)中,粗糙被定義為“表面不平整,粗糙度,凹凸不平”,它在物理學(xué)和地震學(xué)中具有重要意義。光滑的表面,即使是拋光到鏡面光潔度的表面,在微觀尺度上也不是真正光滑的。它們是粗糙的,具有尖銳的,粗糙的或粗糙的突起,稱為“粗糙”。表面粗糙存在于多個(gè)尺度上,通常以自放射或分形幾何形狀存在。
接下來(lái),希望為大家?guī)?lái)粗糙度參數(shù)相關(guān)小貼示,如果有哪些需要了解的,可以留言哦。
今天介紹的是粗糙度誕生的參數(shù)Ra。
輪廓算術(shù)平均偏差 Ra:在取樣長(zhǎng)度(lr)內(nèi)輪廓偏距值的算術(shù)平均值。在實(shí)際測(cè)量中,測(cè)量點(diǎn)的數(shù)目越多,Ra越準(zhǔn)確。

| 表面特征 | 表面粗糙度(Ra)數(shù)值 | 加工方法舉例 |
| 明顯可見(jiàn)刀痕 | Ra100、Ra50、Ra25 | 粗車、粗刨、粗銑、鉆孔 |
| 微見(jiàn)刀痕 | Ra12.5、Ra6.3、Ra3.2 | 精車、精刨、精銑、粗鉸、粗磨 |
| 看不見(jiàn)加工痕跡,微辯加工方向 | Ra1.6、Ra0.8、Ra0.4 | 精車、精磨、精鉸、研磨 |
| 暗光澤面 | Ra0.2、Ra0.1、Ra0.05 | 研磨、珩磨、超精磨、拋光 |
利用針尖曲率半徑為2微米左右的金剛石觸針沿被測(cè)表面緩慢滑行,金剛石觸針的上下位移量由電學(xué)式長(zhǎng)度傳感器轉(zhuǎn)換為電信號(hào),經(jīng)放大、濾波、計(jì)算后由顯示儀表指示出表面粗糙度數(shù)值,也可用記錄器記錄被測(cè)截面輪廓曲線?!|針?lè)?/span>
利用光波干涉原理 (見(jiàn)平晶、激光測(cè)長(zhǎng)技術(shù))將被測(cè)表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來(lái),并利用放大倍數(shù)高 (可達(dá)500倍)的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進(jìn)行測(cè)量,以得出被測(cè)表面粗糙度。應(yīng)用此法的表面粗糙度測(cè)量工具稱為干涉顯微鏡。這種方法適用于測(cè)量Rz和Ry為 0.025~0.8微米的表面粗糙度。——干涉法